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本文报道了用RHEED强度振荡方法来测定GaAs,Al_xGa_(1-x)As生长速度及Al组分,并初步讨论了产生RHEED强度振荡的机制及其与生长条件的关系。
GaAs MBE生长过程中的RHEED强度振荡
【摘 要】
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本文报道了用RHEED强度振荡方法来测定GaAs,Al_xGa_(1-x)As生长速度及Al组分,并初步讨论了产生RHEED强度振荡的机制及其与生长条件的关系。
【机 构】
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中国科学院上海冶金所上海200050
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年6期
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