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GaAs MBE生长过程中的RHEED强度振荡
GaAs MBE生长过程中的RHEED强度振荡
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jizhe1983621
【摘 要】
:
本文报道了用RHEED强度振荡方法来测定GaAs,Al_xGa_(1-x)As生长速度及Al组分,并初步讨论了产生RHEED强度振荡的机制及其与生长条件的关系。
【作 者】
:
陆泳
陆飞
【机 构】
:
中国科学院上海冶金所上海200050
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
分子束外延
GAAS
测量
振荡
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本文报道了用RHEED强度振荡方法来测定GaAs,Al_xGa_(1-x)As生长速度及Al组分,并初步讨论了产生RHEED强度振荡的机制及其与生长条件的关系。
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