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采用SEM、Raman光谱、XRD等测试方法,对直流等离子体射流CVD法在硬质合金基体上合成的金刚石膜进行了形貌和结构分析。结果表明,该方法合成的金刚石膜形貌和质量受基体表面上的温度梯度、化学物质(原子氢、碳氢基团等)浓度梯度的影响较大。膜层内存在GPa数量级的残余压应力,微观应力很小。嵌镶块尺寸为纳米数量级,且随甲烷浓度增高而减小,由此而估算的位错密度统计平均值达10^10cm^-2数量级。综合