气相沉积BN膜的性能及形成机制的研究

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:s3100401
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用射频等离子体辅助化学气相沉积技术制备了BN膜,对以Ar+10%H2(体系分数),H2和N2气为载气沉积的膜,进行了FTIR,TEM,SEM等分析,比较了不同载气下膜层的立方氮化硼含量,膜基结合力,膜层残余应力,硬度和耐磨性,对立方氮化硼的形成机制进行了探讨。
其他文献
从含聚乙二醇(PEG)的钛醇盐溶胶前驱体中通过溶胶-凝胶工艺在普通钠钙玻表面制备了多孔锐钛矿型TiO2纳米薄膜。用扫描电镜(SEM),X射线光电子能谱(XPS)和红外光谱(IR)分析了TiO2薄膜表面的微结构,结果表明,随着
应用差热分析、 X射线衍射分析、扫描电子显微镜等技术, 研究了氟含量在SiO2-Al2O3-MgO-K2O系玻璃陶瓷分相及析晶中的作用.结果表明: 当玻璃中不含氟时, 试样在高温发生整体
肖像漫画作为一种艺术形式,历史悠久,可追溯到文艺复兴时期,而在大众娱乐活动丰富的当今,肖像漫画更成为了一种重要的情感表达方式,它在人物形象的表达方面进行夸张,达到强化
气相沉积ZrO2膜常为柱状结构, 要更好地控制ZrO2膜性能, 需要研究ZrO2膜中柱状结构的形成和演化规律. 在射频溅射条件下沉积了ZrO2膜, 发现该膜的柱状晶具有{111}面织构, 其
采用Sanders公司的四打印头快速成型机进行了陶瓷部件的浆料打印成型实验,实际测试了所用四打印头快速成型机的打印工作条件,考察了石蜡和挥发性介质两种浆料技术路线,并采用
综述了高效毛细管电泳在中药指纹图谱技术中的应用进展
利用微波烧结工艺的特性,研究了混合场的模型,提出了陶瓷材料的准静态烧结概念。在实验研究基础上得到Al2O3陶瓷的准静态烧结条件,并成功地实现了φ40nm×2400mm陶瓷辊棒的微叔连续化烧结。
为锶镁掺杂镓酸镧(La0.9Sr0.1Ga0.8mG0.2O2.85,简写为LSGM1020)固体电解质的电化学性能进行了初步研究,并测试以之为电解质,Ni-CoO2为阳极,La(Sr)MnO3为阴极的氢-氧燃料电池(SOFC)的伏
以K2W2O7为助熔剂,采用熔盐顶部籽晶(TSSG)法生长出尺寸为23mm×20mm×19mm的Nd:KGd(WO4)2激光晶体.比较了K2WO4和K2W2O7两种助熔剂的性能及对晶体生长的影响,认为K2
对高贝利特水泥(high belite cement, HBC)低热高抗裂大坝混凝土的性能进行了研究,并通过与三峡二期大坝中热水泥(moderate heat cement,MHC)混凝土的平行对比实验,论证了HBC