【摘 要】
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本文报道的实验中,使用了波长比源材料气体吸收边短得多的真空紫外光(VUV)作光源,使气体源材料能有效地被分解,通过气体源和光源适当组合,使用非干涉光的直接分解,成功地获得
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本文报道的实验中,使用了波长比源材料气体吸收边短得多的真空紫外光(VUV)作光源,使气体源材料能有效地被分解,通过气体源和光源适当组合,使用非干涉光的直接分解,成功地获得了较高的膜生长速度.
In the experiment reported in this paper, vacuum ultraviolet (VUV) light whose wavelength is much shorter than the absorption edge of the source material gas is used as the light source, so that the gas source material can be effectively decomposed. By using a combination of the gas source and the light source, The direct decomposition, successfully obtained a higher rate of membrane growth.
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