高功率激光宽光谱减反膜的溶胶—凝胶旋转法制备工艺

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a137167443

【摘要】

：

采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率

【作者】

：

魏芸吕海兵蒋晓东唐灿任寰李珂

【机构】

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中国工程物理研究院

【出处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法高功率激光宽光谱减反膜制备工艺 SIO2 二氧化硅旋转镀膜工艺有机硅薄膜 Sol-gel spin coatingSiO_2 antire

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采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.

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