【摘 要】
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<正> 1 引言 众所周知,内部水汽含量过高是导致铝金属化腐蚀(即长“白毛”)失效的主要原因。为了确保器件的可靠性,必须对器件的内部水汽含量指标进行严格考核。为此,必须有
【机 构】
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电子部五所,电子部五所广州,510610,广州,510610
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<正> 1 引言 众所周知,内部水汽含量过高是导致铝金属化腐蚀(即长“白毛”)失效的主要原因。为了确保器件的可靠性,必须对器件的内部水汽含量指标进行严格考核。为此,必须有一种能对密封器件的内部水汽含量进行有效测试的方法。利用质谱方法进行的残余气体分析技术是最早获得人们认可的内部水汽含量检测技术。但是,这种技术太复杂、太昂贵,一般的实验室和生产厂都用不起,必须另找一种既经济又方便的替代方法。露点测试技术是MIL-STD-883和GJB548-88所推荐的、既经济又方便的替代方法之一。过去,由于我
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