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本文采用直流磁控溅射方法，在He／Ar混合气氛中，通过分别改变He／Ar流量比和沉积偏压制备不同He含量的钛膜．利用XRD（X—raydiffraction）对含He钛膜的微观结构和晶粒尺寸进行了研究．结果表明，在其它实验参数不变的情况下，当He／Ar流量比从1．0增加到25时，钛膜的平均晶粒尺寸从19．02nm减小到8．63nm．随着膜中He含量的增加，衍射峰宽化，晶粒细化，He的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势．而当沉积偏压从24V增加到151V时，其平均晶粒尺寸基本不变．He引入引起了（002）晶面衍射