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氮钝化对Te掺杂GaSb材料光学性质的影响

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：herozerg

【摘 要】

：

利用等离子体增强原子层沉积系统,使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀,改善样品的发光特性.在室温下（300K）,发光强度提高了4倍.在低温光谱测试中,发现了由Te掺杂导致的T

【作 者】

：

容天宇 房丹 谷李彬 方铉 王登魁 唐吉龙 王新伟 王晓华 

【机 构】

：

长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室

【出 处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2018年3期

【关键词】

：

光致发光 钝化 GASB 等离子体增强原子层沉积 氮等离子体 Photoluminescence Passivation GaSb Plasma enhance 

【基金项目】

：

国家自然科学基金（Nos.61404009,61474010,61574022,61504012,61674021,11674038）, 吉林省科技发展计划（Nos.20160519007JH,20160101255JC,20160204074GX,20170520117JH）资助

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利用等离子体增强原子层沉积系统,使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀,改善样品的发光特性.在室温下（300K）,发光强度提高了4倍.在低温光谱测试中,发现了由Te掺杂导致的TeSb施主缺陷相关的发光峰,峰位位置在0.743eV处;此外,带边发光峰位随温度变化从0.796eV移动到0.723eV.对比室温和低温光谱,发现当N等离子体刻蚀功率为100 W时,Te掺杂GaSb的最佳刻蚀周期是200周期;并且氮钝化没有改变Te掺杂GaSb的发光机制,只是提高了样品的辐射复合效率.

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