论文部分内容阅读
用反射计测量托卡马克等离子体中的密度起伏
【出 处】
:
国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
:
1997年1期
其他文献
本文作者已研制了一种新的电感耦合等离子体源,它用一个多级螺旋线圈,其电感为常规ICPS线圈电感的1/3。该源在压力低于10mTorr下可产生密度为10^11cm^3或更高些的等离子体,其密度起伏为±5%。
我们介绍TEXT-U新的q诊断的初次结果。这种方法建立在用探测器的环形阵列去测定注入束中性粒子在二次电荷交换碰撞后被发射的平面的基础上,潜在的优点是低费用,充分的等离子体可接近性
单基取代的有机硅前身的等离子体沉积能够导致一些层含有广延的Si-Si键合的主键。娄这些膜同时暴露于紫外线和氧时,Si-Si健裂开,氧进入形成Si-O-Si聚合物链。证明这些膜可以用低压力直流等离子体
因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力,所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史,给出感应等离子体的特性。限制