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本文作者已研制了一种新的电感耦合等离子体源，它用一个多级螺旋线圈，其电感为常规ＩＣＰＳ线圈电感的１／３。该源在压力低于１０ｍＴｏｒｒ下可产生密度为１０＾１１ｃｍ＾３或更高些的等离子体，其密度起伏为±５％。
用一个多级螺旋线圈的新电感耦合等离子体源
【摘 要】
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本文作者已研制了一种新的电感耦合等离子体源，它用一个多级螺旋线圈，其电感为常规ＩＣＰＳ线圈电感的１／３。该源在压力低于１０ｍＴｏｒｒ下可产生密度为１０＾１１ｃｍ＾３或更高些的等离子体，其密度起伏为±５％。
【出 处】
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国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
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1996年6期
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