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3000系列是用于钨CMP的金刚石研磨垫调节剂，采用共烧技术控制金刚石的放置，并具有强劲的金刚石保持能力，会降低可能的微划痕。严格的平坦度规格提高了研磨垫消耗的均匀性和平坦度，可获得优化的研磨垫寿命。改进的工艺性能可以提供一致的去除率，可以减少晶圆的非均匀情况以及降低缺陷率。
钨CMP研磨垫调节剂
【摘 要】
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3000系列是用于钨CMP的金刚石研磨垫调节剂，采用共烧技术控制金刚石的放置，并具有强劲的金刚石保持能力，会降低可能的微划痕。严格的平坦度规格提高了研磨垫消耗的均匀性和平坦
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年11期
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