磁控溅射技术及其发展

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzayy9
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。本文着重介绍了磁控溅射技术原理、特点、磁控溅射技术的发展史及其发展趋势。
其他文献
核心提示$$历史上,宋徽宗赵佶不是一个有作为的皇帝,但绝对是一位“超一流”的艺术家,他的书法和花鸟画均独树一帜,引领风骚。$$宋徽宗的传世书画作品不少,在辽宁省博物馆就藏有4
报纸
小儿长期低热治法举隅224002江苏省盐城市中医院陈尔明小儿长期低热以体温稍高(37.5~3.8℃),起病缓慢,病程较长(持续发热半个月以上)为特点,属中医内伤发热范畴。多认为与气血阴阳虚损有关,故亦称“
期刊
构建城乡经济社会一体化发展测度评价指标体系和评价模型,对环长株潭城市群城乡一体化发展进行实证研究,结果表明:从2007年到2010年环长株潭城市群8个城市的城乡一体化发展水
碳纳米管,可以看作由单层石墨碳卷曲而形成的一维中空圆柱型管状结构。而基于石墨层数的不同可以将碳纳米管分为单壁碳纳米管和多壁碳纳米管。碳纳米管在电子学、力学、热学
目的:探讨临床上治疗痤疮的新进展。方法:按照以下文章所探讨的方法护理和治疗。结果:517个病人通过每天涂一次药物,在十二周的治疗后,验证效果的减少率分别是50%、34.5%、34
超级电容器作为一种具有高功率特性和长寿命的优良储能器件,近年来得到了广泛的关注。具有法拉第赝电容特性的电活性物质,与具有良好双电层电容特性的碳纳米管的复合有望实现
二元过渡金属化合物微纳米材料因其独特的物理化学性质在储能、传感、催化等领域具有广泛的应用,因此制备二元过渡金属化合物的新颖微纳米结构、研究其生长机制、控制其结晶
由于传统家族观念和当今城市化发展的现状,城市家庭隔代抚育现象在现实社会中普遍存在,隔代家庭抚育环境成为影响儿童的成长重要因素。所以,研究城市隔代抚育对儿童影响的机
在人类生存环境恶化的背景下,低碳生活成为人类寻求自救的新的生活方式。低碳生活教育正是构筑儿童低碳生活习惯的重要途径。学前儿童低碳生活教育课程化必须遵循生活化、活
<正>我党一直以来都重视加强对关键岗位领导干部的监督管理。党的十八大报告明确指出"健全干部管理体制,从严管理监督干部,加强党政正职、关键岗位干部培养选拔监督"的战略部