溅射离子泵的再生处理

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标志溅射离子泵性能的主要技术指标是泵的抽速和泵所能达到的极限真空度。这两项指标密切地依赖于泵的工作状态和泵的历史。因此,为了能正确地评价溅射离子泵的性能,除了规定一个统一而合理的工作条件以外,还必须使泵处于大致相同的初始条件下。 溅射离子泵抽气特点是内部储存 The main technical specifications of the logo sputter ion pump performance are the pumping speed of the pump and the ultimate vacuum attained by the pump. These two indicators are closely dependent on the working state of the pump and the history of the pump. Therefore, in order to properly evaluate the performance of a sputter ion pump, in addition to specifying a uniform and reasonable operating condition, the pump must be brought under approximately the same initial conditions. Sputtering ion pump suction is characterized by internal storage
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