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针对半导体制造业的制造模式,提出通过实施面向工序合格率的统计过程控制实现机械自动化设备的故障监控方法,初步实现了故障监控的事前控制.通过实证研究,说明方法的可操作性,并取得一定的实际效果.
基于统计合格率管理自动化机械设备故障预测方法
【摘 要】
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针对半导体制造业的制造模式,提出通过实施面向工序合格率的统计过程控制实现机械自动化设备的故障监控方法,初步实现了故障监控的事前控制.通过实证研究,说明方法的可操作性
【机 构】
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天津大学管理学院工业工程系
【出 处】
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机械设计
【发表日期】
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2004年6期
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