GaAs微条粒子探测器的辐照特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhiyuanszy
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设计了一种能经受高能粒子辐照的GaAs微条粒子探测器,该探测器结构采用金属-半导体-金属结构,其主要几何尺寸是:微条长度为17mm,宽度分别为20、50、100、200、300μm,该探测器在经受电子、中子、γ射线、X射线等高能粒子辐照后,表面金属光亮无损,反向击穿电压最高可达180v,在反偏电压80V时,反向暗电流密度低达31Na/MM^2,探测器的最小条宽为20μm.
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