【摘 要】
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实现高效光电探测一直是微电子领域和材料领域研究的热点。硅基探测是众多光电探测器中最实用化的一种方法，而构筑于硅基底上的纳米材料光电探测器研究是目前科研人员高度关注
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实现高效光电探测一直是微电子领域和材料领域研究的热点。硅基探测是众多光电探测器中最实用化的一种方法，而构筑于硅基底上的纳米材料光电探测器研究是目前科研人员高度关注的课题。多数的构筑于硅基底上的纳米结构采用的硅基底为表面热氧化的硅片，一般氧化层（SiO2层）结晶性好、漏电流小、避免影响目标纳米结构本身的光电信号。然而，目前该方面的研究却忽略了硅本身作为一种很好的吸光半导体和光电转换的优势。
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