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第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将于2017年10月17~20日在上海召开。会议由国际等离子体注入和沉积委员会（PBII＆D International Committee）发起,由中国科学院上海硅酸盐研究所、中国科学院上海微系统与信息研究所共同承办。
第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将在上海召开
【摘 要】
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第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将于2017年10月17~20日在上海召开。会议由国际等离子体注入和沉积委员会（PBII＆D International Committee）发起,由中国科学院上海硅酸
【出 处】
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中国表面工程
【发表日期】
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2017年2期
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