【摘 要】
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本文采用热蒸发法在玻璃衬底上沉积Zn膜,然后在氧气中通过两步热氧化制备ZnO薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和紫外透过光谱等表征技术,研究了氧化温度对ZnO薄膜
【机 构】
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湛江师范学院物理科学与技术学院,兰州大学物理科学与技术学院
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本文采用热蒸发法在玻璃衬底上沉积Zn膜,然后在氧气中通过两步热氧化制备ZnO薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和紫外透过光谱等表征技术,研究了氧化温度对ZnO薄膜结晶质量和光学性能的影响。研究结果表明,两步氧化法在400℃下氧化1 h后的样品中除含有ZnO成份外,还有少量金属Zn存在;525℃下氧化1 h可以制备出疏松多孔的ZnO薄膜,其在紫外光和可见光范围内的透过率可达85%。通过太阳光和紫外光（254 nm）催化降解苯酚实验,发现两步氧化法制备的ZnO薄膜具有良好的光催化特性：太
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