【摘 要】
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使用溶胶凝胶法制备了Pb（Zr0.52Ti0.48）O3铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的
【机 构】
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东南大学材料科学与工程学院,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,吉林大学化学学院
【基金项目】
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江苏省博士后科研资助项目（0602001A）
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使用溶胶凝胶法制备了Pb（Zr0.52Ti0.48）O3铁电薄膜,分别利用原子力显微镜、X射线衍射及面探扫描技术分析了薄膜的组织结构,并运用掠入射X射线衍射法研究了不同工艺条件下制备的薄膜的残余应力。研究表明溶胶凝胶薄膜在600℃退火30min后完全晶化,组织结构均匀。不同工艺下制备的薄膜均受残余拉应力,随着退火温度及退火时间的延长,薄膜中的残余应力逐渐增大,而随着薄膜厚度的增加,残余应力先增大然后减小。
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