亚微米电子束曝光机激光工件台位置显示系统

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cai67716029
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介绍了工件台位置显示系统的组成,工作原理及软件设计。由于采用单片机控制技术,从而保证了系统的显示精度和运行可靠性。
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