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期刊论文
动态消像散的闭环控制
动态消像散的闭环控制
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jtfcyy
【摘 要】
:
笔者首次利用计算机控制,使动态电磁消像散盛开形一闭环系统,避开输出的饱和区和截止区,使八级消象散线圈有良好的控制像散作用。
【作 者】
:
尹明
钟铃
【机 构】
:
山东工业大学自动化系,山东泰山电器集团
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
电子束
像散
闭环控制
电磁消像散器
计算机控制
Ebeam
astigmatism
control
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笔者首次利用计算机控制,使动态电磁消像散盛开形一闭环系统,避开输出的饱和区和截止区,使八级消象散线圈有良好的控制像散作用。
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