【摘 要】
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本文建立了真空电弧镀膜中液滴热过程的理论模型,求解了沉积TiN膜过程中液滴的温度与粒径变化,计算表明,液滴在飞行过程中温度和粒径不断减小;粒径较小的液滴温度降低较大,甚至可
【机 构】
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南京航空航天大学机械工程学院,华中理工
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本文建立了真空电弧镀膜中液滴热过程的理论模型,求解了沉积TiN膜过程中液滴的温度与粒径变化,计算表明,液滴在飞行过程中温度和粒径不断减小;粒径较小的液滴温度降低较大,甚至可能发生凝固,计算实例能较好解释早期TiN膜的电镜分析结果,揭示液滴在薄膜中引起两种不同微孔的机理。
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