真空电弧镀膜相关论文
本文介绍了真空电弧镀膜环境下用法拉第杯分析等离子参数的实验系统。利用该系统,着重测量了气压、电流等参数对离子能量的影响,以及......
分析了在外加磁场作用下,真空电弧镀膜中阴极靶面液池的受力情况,导出了液滴喷溅特性受磁场影响的关系式。结果表明,纵向磁场将使喷溅......
简要分析了朗谬尔探针用于真空电弧镀膜等离子体诊断的可行性及理论适用性问题。介绍了一种可用于VAC等离子体在线监测的探针诊断系统......
本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Langmuir探针系统。测得典型参数:电子温度0.6-0.7eV,等离子体电位2V,电子浓度2×10^15/m^3。该装置可用于自动......
本文建立了真空电弧镀膜中液滴热过程的理论模型,求解了沉积TiN膜过程中液滴的温度与粒径变化,计算表明,液滴在飞行过程中温度和粒径......
真空电弧镀DZ22合金NiCrAlY涂层性能研究北京航空材料研究所吴凤筠一、前言真空电弧镀膜设备A1000采用电弧放电直接蒸发镀膜材料制成的阴极靶,与同类......