【摘 要】
：
基于微机电（MEMS）工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的作用。对先进的硅基微机电射频电感设计技术
【机 构】
：
华东师范大学信息科学技术学院,上海微系统所传感技术国家重点实验室,复旦大学微电子研究院ASCI国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目（6176036）, 上海闵行高层次人才科研项目
论文部分内容阅读
基于微机电（MEMS）工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的作用。对先进的硅基微机电射频电感设计技术进行了介绍,给出了3种常用的等效电路模型;同时利用三维电磁仿真软件HFSS设计了平面结构和垂直结构的MEMS立体电感,详细地给出了这2种电感的物理结构参数以及在N型硅衬底上的实现方法及工艺流程。仿真结果表明,平面结构的电感品质因数在4.4 GHz处可以达到11.8,垂直结构的电感的品质因数在4.3GHz处可以达到19.5,远远高于传统电感的
其他文献
智能V锥流量计采用MSP430F4794为CPU,差压、绝压、温度三路信号由各自的传感器感知后,经调理电路转化为电信号,再由MSP430F4794内部的SD16_A模块转化为数字量,由CPU进行处理,
为了提高声带疾病嗓音识别率，提出了一种基于差异度的多参数识别方法。研究声学参数之间的相关性，定义两类嗓音间参数的差异度；根据差异度对参数进行权重分配，并剔除相关性较大的
等离子体显示屏（Plasma Display Panel,PDP）发光在时间上的非线性和人眼平滑跟踪运动目标的自然倾向产生的灰度失调是彩色PDP产生动态假轮廓（Dynamic False Contour,DFC）的主要原
随着硬件设计复杂度的提高,设计的后期验证在设计生命周期中占据的比重也越来越大。能否对设计进行全面有效的验证,是验证人员所面临的主要问题。采用SystemVerilog语言对SRA