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较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体模拟的ＰＣ实用系统和有关应用方面的研究，特别是ＳＵＰＲＥＭ（微电子集成电路工艺模拟系统）同ＳＥＤＡＮ（半导体器件特性模拟系统）的接口联机模拟，极大地增强了模拟信息量，最大限度地实施了以上两系统的模拟功能。
微电子CAD系统PC—SUPREM和PC—SEDAN及其应用研究
【摘 要】
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较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体模拟的ＰＣ实用系统和有关应用方面的研究，特别是ＳＵＰＲＥＭ（微电子集成电路工艺模拟系统）同ＳＥＤＡＮ（半导体器件特性模拟系统）的接口联机模拟，极大地增强了模拟信息
【机 构】
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山东工业大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年3期
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