【摘 要】
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由微处理机控制的仪器在精度、多功能性和分析能力方面均优于其对应的模拟计算部件。本文所介绍的仪器可完成器件制造者在前道工艺监控和器件最终测试时所需要的多种测量和分
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由微处理机控制的仪器在精度、多功能性和分析能力方面均优于其对应的模拟计算部件。本文所介绍的仪器可完成器件制造者在前道工艺监控和器件最终测试时所需要的多种测量和分析工作。本文所讨论的范围包括仪器设计原理、模拟-计算机接口的性能、程序和应用。
Microprocessor-controlled instruments outperform their analog counterparts in accuracy, versatility and analytical capabilities. The instruments described in this article can be used to perform a variety of measurement and analysis tasks required by device builders in front-end process monitoring and final device testing. This article discusses the scope of the instrument design principles, simulation - computer interface performance, procedures and applications.
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