切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
KrF准分子激光移相光刻研究
KrF准分子激光移相光刻研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stupid199001
【摘 要】
:
本文针对无铬掩模方式,从计算机摸拟和实验两个方面,研究了KrF准分子激光(λ=248nm)接触式移相曝光。得到了0.1μm的正胶线条。得出了在接触式相干平行光照射下,移相器与基片间距对光刻线条宽窄
【作 者】
:
钱鹤
刘训春
【机 构】
:
中国科学院微电子中心
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
准分子激光
移相光刻
计算机模拟
掩模
excimer laser
phase-shifting lithography
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文针对无铬掩模方式,从计算机摸拟和实验两个方面,研究了KrF准分子激光(λ=248nm)接触式移相曝光。得到了0.1μm的正胶线条。得出了在接触式相干平行光照射下,移相器与基片间距对光刻线条宽窄有很大影响的结论,并通过将移相器直接做在基片上,给出了移相器紧贴基片的可靠方法。
其他文献
让阅读走进政治课堂
期刊
政治课堂
中学政治课教学
教材内容
阅读能力
资本主义民主
归纳总结
阅读中
几个问题
引导学生
思想政治课教学
树立正确的质量意识 探索科学的育人方法——谈课堂教学中的德育渗透
一、序言教学过程不但是学生学习知识的过程,同时也是学生受教育的过程。“教学始终具有教育性”已被长期的教学实践所证明,是我们应共同遵循的一条教学规律。原苏联教育家苏霍
期刊
课堂教学
育人方法
质量意识
探索科学
德育渗透
心理机制
教师
应试教育
道德行为
牛顿第一定律
深圳特区严重刑事犯罪的遏制对策
本文作者从分析深圳特区当前严重刑事犯罪的特征和成因入手,以刊事法律和社会治安综合治理的角度,提出科技强警、办案协作、警务合作、出租屋管理法治化、加强对刑事案件证人的
期刊
深圳市
刑事犯罪
科技强警战略
警务合作
犯罪特点
成因
收容遣送制度
中等专业学校进行素质教育的几点思考
在一堂中专语文的绪论课上,教师开篇便引用了《孟子谏齐宣王》中的一段话:“挟泰山以超北海,语人曰:‘我不能’,是诚不能也。为长者折枝,语人曰:‘我不能’,是不为也,非不能也。故王之
期刊
中等专业学校
实施素质教育
应试教育
中专教育
中专学校
终身教育
专业技能
整体素质
教师
案例教学
保险诈骗罪疑难问题探究——“形而下”的思考
为解决保险诈骗罪理解和适用中的诸多疑难问题,应从各种理论纷争中摆脱出来,消除对法条真义的误解和忽视,立足于现存刑事立法进行“形而下”的思考。保险诈骗罪并非复合行为犯,制
期刊
保险诈骗罪
犯罪构成
共同犯罪
犯罪特征
公司人格否认规则及其运用
现代公司制度的基石是公司法人人格独立制度,即有限责任制度,是指公司应以其全部资产承担清偿债务的责任,而股东仅以其出资为限承担义务。
期刊
现代公司制度
公司法人人格独立制度
有限责任制度
债务清偿
公司法
“列方程解应用题”教学体会
列方程解应用题是《简易方程》一单元的教学重点。通过教学,我发现新、旧教材有以下几点不同:在新教材中,增加了形如ax±bx=c的方程,利用它可以来解一些较复杂的应用题。掌握了这种
期刊
列方程解应用题
等量关系
数量关系
算术方法
算术解法
解题思路
教学重点
字母表示
新教材
方程的解
《无神论历史与理论教学大纲》
导论第一题 无神论历史与理论的对象马克思、恩格斯、列宁论无神论的本质.无神论是科学唯物主义世界观的重要方面.苏共二十二大论共产主义世界观形成的任务.
期刊
无神论
教学大纲
历史
共产主义世界观
唯物主义世界观
马克思
恩格斯
十二大
隧道窑中工件的温度响应
本文讨论隧道窑中工件的温度响应。结果表明,工件所经历的温度过程相对于隧道窑设定的温度曲线而言,会出理温度滞后。文章介绍了影响温度滞后的若干因素。
期刊
隧道窑
温度响应
电子元器件
制造
磁性材料
tunnel kiln
temperature response
temperature lag
金融资产管理公司(AMC)的法律定位及走向分析
银行不良资产问题是世界范围内的难题,而中国不良资产的大量存在又有其深层次的特殊原因,是国企困难的反映。我国AMC的成立是借鉴国外成功经验,防范金融风险的一项创举。本文在
期刊
金融资产管理公司
AMC
法律定位
不良资产
银行
中国
与本文相关的学术论文