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期刊论文
衬底温度对PECVD氮化硅膜性质的影响
衬底温度对PECVD氮化硅膜性质的影响
来源 :浙江大学学报:理学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxw2yanzi
【摘 要】
:
本文研究了PECVD氮化硅膜的性质与衬底温度的关系,对不同衬底温度的膜的折射率、腐蚀速率、介电特性进行了讨论;本文还指出,膜的导电机理符合Poole-Frenkel发射.C-V曲线的显
【作 者】
:
张秀淼
杨爱龄
石国华
江春叶
王丹
包蕾
【出 处】
:
浙江大学学报:理学版
【发表日期】
:
1988年4期
【关键词】
:
半导体
氮化硅
MNS结构
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助课题
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本文研究了PECVD氮化硅膜的性质与衬底温度的关系,对不同衬底温度的膜的折射率、腐蚀速率、介电特性进行了讨论;本文还指出,膜的导电机理符合Poole-Frenkel发射.C-V曲线的显著滞后效应表明,膜中存在高密度的陷阱。
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