消除探针影响和其它测量问题

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英特尔公司技术战略部门,材料研究组经理Michael Garner,在2007年国际纳电子表征与测量前沿会议(2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics)上列举了在纳米科技时代测量技术需要克服的几个障碍。
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