【摘 要】
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提出了基于荷花效应的双微观结构的制作及其复制技术，介绍了采用阳极氧化技术制作双微观结构氧化铝模板的方法。应用该模板采用纳米压印技术可制作塑料微流通道，采用纳米压印、
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提出了基于荷花效应的双微观结构的制作及其复制技术，介绍了采用阳极氧化技术制作双微观结构氧化铝模板的方法。应用该模板采用纳米压印技术可制作塑料微流通道，采用纳米压印、反应离子刻蚀结合硅烷化和烷基烯酮二聚体（alkyl ketene dimmer，AKD）处理法可制作硅基仿生功能结构。表面接触角测试表明，采用该技术制作的塑料及硅结构具有超疏水性。该工艺可用于微流器件、微传感器、微执行器等塑料或硅基微机电系统（MEMS）器件功能表面的改形制造，在实现微观器件表面减摩防粘功能上具有广泛的应用前景。
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