【摘 要】
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在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分.针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法.该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分.针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法.该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适的特征并根据因子分析理论对特征进行变换,最后基于贝叶斯判别原理对灰尘麻点进行分类.采用自制定标板建立了灰尘麻点训练样本库,并进行多组实验,选取了合适的判别函数,最后进行了对未知样品表面灰尘麻点的区分.实验结果表明,该判别方法的正确率可以达到95％以上.目前此判别方法已经用于惯性约束聚变系统中大口径光学元件表面
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