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极板间距对反应溅射GexG1—x薄膜的影响
极板间距对反应溅射GexG1—x薄膜的影响
来源 :西北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fly_wing
【摘 要】
:
利用射频磁控反应溅射法,以Ar,CH4为原料气体,在较宽的工艺参数范围内制备出了GexC1-x薄膜,研究了极板间距对沉积的影响。结果表明,随极板间距的减小,沉积速率增大,薄膜的均匀性变差,薄膜中Ge/C的原子
【作 者】
:
宋建全
刘正堂
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
西北工业大学学报
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
薄膜
反应溅射法
极板间距
碳化锗
半导体
Ge_xC_(1-x) film radio frequency magnetron reactive sputte
【基金项目】
:
航空科学基金
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利用射频磁控反应溅射法,以Ar,CH4为原料气体,在较宽的工艺参数范围内制备出了GexC1-x薄膜,研究了极板间距对沉积的影响。结果表明,随极板间距的减小,沉积速率增大,薄膜的均匀性变差,薄膜中Ge/C的原子比增加。
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