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介绍厚膜混合集成电路用的激光调阻系统的机理，结构，切割图形及工艺参数。
厚膜混合集成电路用的激光调阻系统
【摘 要】
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介绍厚膜混合集成电路用的激光调阻系统的机理，结构，切割图形及工艺参数。
【机 构】
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信息产业部电子第43研究所
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2003年1期
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