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目前硅外延生长常用方法是以电子级二氯二氢硅为反应气体,采用化学气相沉积的气相外延法.二氯二氢硅生产工艺主要有歧化法、氢化法、氯化法,利用络合法对二氯二氢硅进行纯化,载体使用化学改性的吸附剂,络合物担体使用多孔吸附剂,进一步除去杂质.
浅谈硅外延用二氯二氢硅的生产及纯化
【摘 要】
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目前硅外延生长常用方法是以电子级二氯二氢硅为反应气体,采用化学气相沉积的气相外延法.二氯二氢硅生产工艺主要有歧化法、氢化法、氯化法,利用络合法对二氯二氢硅进行纯化,
【机 构】
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青海黄河水电新能源分公司,青海 西宁,810007
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2018年36期
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