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采用金属有机分解法（MOD）在p-Si（111）衬底上制备了钛酸铜钙（CaCu，Ti4O12）薄膜。对前驱体溶液粉体退火后做了红外和X射线分析；对薄膜退火后做了X射线和原子力显微镜分析。结果表明，在空气中750℃退火1h后，钛酸铜钙结晶良好；钛酸铜钙薄膜的生长为二维生长模式。
金属有机分解法制备钛酸铜钙薄膜
【摘 要】
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采用金属有机分解法（MOD）在p-Si（111）衬底上制备了钛酸铜钙（CaCu，Ti4O12）薄膜。对前驱体溶液粉体退火后做了红外和X射线分析；对薄膜退火后做了X射线和原子力显微镜分析。结果表明，在空
【机 构】
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山东大学晶体材料国家重点实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2006年1期
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