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文中介绍了万向开关的工作原理，针对万向惯性开关的结构要求，利用ICP技术时设计结构进行加工，给出了详细加工工艺流程，并分析了工艺流程中的关键技术，并给出了加工和封装后的实物照片。
MEMS万向惯性开关工艺研究
【摘 要】
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文中介绍了万向开关的工作原理，针对万向惯性开关的结构要求，利用ICP技术时设计结构进行加工，给出了详细加工工艺流程，并分析了工艺流程中的关键技术，并给出了加工和封装后的实物
【机 构】
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沈阳理工大学、CAD/CAM技术研究与开发中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2013年10期
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