【摘 要】
：
为了在光栅制作中对光栅掩模占宽比及槽深加以控制,结合光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了光栅掩模槽形演化的数学模型,由此分析和模拟曝光量、条纹对比度对光栅槽形的
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院研究生院;
【基金项目】
：
国家自然科学基金(60478034);“十一五”国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523,20086013)资助课题
论文部分内容阅读
为了在光栅制作中对光栅掩模占宽比及槽深加以控制,结合光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了光栅掩模槽形演化的数学模型,由此分析和模拟曝光量、条纹对比度对光栅槽形的影响。结果表明:在显影条件确定时,光栅掩模占宽比随光刻胶曝光量的增大而减小,条纹对比度减小,则不仅使光栅占宽比减小,同时也是使光栅槽深减小的主要原因,这样做的前提是预先通过实验和计算确定出一个曝光量上限Ec。该方法能够反映光栅掩模形状的演化规律,为全息光栅参数预测和工艺控制提供依据。
其他文献
<正> 汽车前车轮转向轴支承方法有主销式,CA141,球形轴节式,CA630,以及滑柱连杆型式即麦克弗逊式。桑塔纳轿车采用发动机前置前驱动,前桥独立悬架应用平衡杆结构,前车轮转向
逻辑素养主要体现为对逻辑学相关知识的掌握和逻辑思维能力。当代大学生的逻辑素养处于缺失状态,缺失的原因主要有:中学阶段系统逻辑知识教育匮乏、大学阶段逻辑课程不被重视
热升华转印纸承载热升华转印油墨印刷的文字或图案,并在受热、加压的条件下将文字或图案转移到承载物上。转印纸均匀、高品质的涂层表面是获得良好转印效果的基础。本文研究
《玫瑰之名》是意大利知名学者翁贝托.艾柯声名鹊起之作,同时也是一部典型的后现代主义元小说作品。艾柯在这部小说里,设置了"嵌套式开放型结构",采用了"多重叙事视角",通过"
我市外贸出口工作以贯彻落实科学发展观为指导，紧紧围绕“稳中求进、进中求快、快中求好”的总体要求，以更加开放的思维、更加开放的态势、更加开放的行动，鼓足于劲，齐心协力，巧抓
概述了化妆品原料的天然、有机和在男士护理品市场的发展趋势。在化妆品市场迅速发展的同时,给原料供应商的发展提供了机遇,但也引起了原料商之间的激烈竞争。
电子商务消费关系的复杂和特殊性,致使消费者权利受损的风险激增,作为消费者权利束之一,具备法理依托的退货权亦面临挑战。目前有八成以上的消费者认为电子商务中退货权的实
为防止我国物种资源流失,履行国际义务,出入境物种资源监管工作协作组研究了物种资源监管工作存在的问题,分析了几种物种资源检验检疫监管工作模式,并提出相关立法、修法、信
本文从宏观层面的译者主体性入手,通过回顾外宣翻译及译者主体性研究现状,并分析记者招待会中译者对模糊语言的处理和翻译策略的选择,指出只有充分领悟原语发布主体的意图和