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采用He，O2为处理介质，对PTFE（聚四氟乙烯）薄膜进行了低温等离子体表面改性。分析了表面元素，测试了接触角和表面能，用原子力显微镜观察了PTFE表面形貌。研究表明：经等离子体表面处理后，PTFE接触角降低，表面能提高；经He处理后，水接触角由108°最低下降至82．4°，表面能由24．0mJ／m^2到34．4mJ／m^2；经O2处理，水接触角由108°下降到了80．6°，表面能为35．8mJ·m^2。形貌观察表明，处理后的PTFE表面粗糙度明显增加，引