干式螺杆真空泵振动监测与故障诊断技术的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luwei2431231
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针对干式螺杆真空泵的运行故障,采用振动监测的方法,利用时域波形和频谱分析技术进行故障诊断.阐述了振动测试点和测量信号类型的选择方法,给出诸如转子不平衡、轴弯曲变形、转子不对中、部件松动、流体诱发振动及滚动轴承、齿轮损伤等常见故障的诊断方法.通过工程实例证明,该方法能够有效地判断出故障产生的原因和部位,为故障的早期诊断提供有力监控.
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