【摘 要】
：
掺镁铌酸锂晶体(Mg:LiNbO3)是一种相对难刻蚀的晶体,Mg:LiNbO3的干法刻蚀速率和刻蚀形貌控制是铌酸锂光电子器件加工中的关键技术之一。采用牛津仪器公司的Plasmalab System
【机 构】
：
华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室,
论文部分内容阅读
掺镁铌酸锂晶体(Mg:LiNbO3)是一种相对难刻蚀的晶体,Mg:LiNbO3的干法刻蚀速率和刻蚀形貌控制是铌酸锂光电子器件加工中的关键技术之一。采用牛津仪器公司的Plasmalab System 100以SF6/Ar为刻蚀气体,具体研究Mg:LiNbO3的刻蚀速率随着感应耦合等离子体(ICP)功率、反应离子刻蚀(RIE)功率、气室压强和气体流量配比等刻蚀参数的变化,同时研究发现SF6/(Ar+SF6)气体流量配比还会影响刻蚀表面的粗糙度。实验结果表明:在ICP功率为1000W,RIE功率为150W,标准状态(0℃,1个标准大气压)下气体总流量为52mL/min,压强为0.532Pa,SF6/(Ar+SF6)气体体积分数为0.077的条件下,刻蚀速率可达到152nm/min,刻蚀表面粗糙度为1.37nm,可获得刻蚀深度为2.5μm,侧壁角度为74.8°的表面平整脊形Mg:LiNbO3结构。
其他文献
铁路与近代中国城镇变迁李占才中国铁路的诞生，比西方晚半个多纪世。但是，自从１８８１年中国第一条“自办”铁路——唐胥铁路建成通车以后，铁路便在古老的中国大地上驻足，缓慢延展，到１９４９年全
马鞍山长江公路大桥南锚碇沉井下沉采取"3次接高,3次下沉"的方案。为保证该方案的施工安全,对沉井下沉可行性指标进行验算,并对沉井首次接高期间的沉降量进行预估。计算结果
随着我国市场经济水平的不断发展,对会计人才的需求日益增长,为保证会计人员的专业素养,必须在其从事会计工作前对其进行会计从业资格考试,确保其具备一定的专业基础。《财经
<正>课堂教学是小学英语教学的基本形式,是小学生获得最基本的英语运用能力的主要途径。英语课堂教学的第一步是把学生引入特定的英语语言环境之中。所以,良好的导课是上好一
人类视觉系统是一个具有多种视觉特性的复杂处理系统，视觉感知是人眼多种视觉特性共同作用的结果。立体视频图像因视差和深度的存在有着与平面图像不同的视觉感受，且深度感与视
路径无关算法是一类重要的相位解包裹算法,其中最常用的是各种最小二乘算法。由于最小二乘算法无法限制误差在空间中传播,因此不能直接获得精确的解包裹相位,其应用受到了限
随着金融自由化的不断深化,我国证券投资基金业面临的风险日益突出,呈现多样化的特点,但风险管理工具单一。本文参照COSO的《企业全面风险管理框架》报告,结合我国证券投资基
地铁工程建设中信号系统是保证地铁安全运行的前提,对推动城市交通发展具有重要意义,因此引发越来越多人的关注。对地铁信号系统采用的安全策略和措施进行探讨,以期为提高地
为了研究不同架设方法的系杆拱桥的施工控制问题,以2座采用不同方法施工的系杆拱桥为背景,从施工方法的选择、控制原理分析以及成桥监控成果等方面进行研究比较。以成桥理想
文章概述了“中国梦”是对民族理想的象征性表达,阐述了“中国梦”的内涵和实现“中国梦”的坚实基础,探讨实现“中国梦”的路径：走中国特色社会主义之路;走和平崛起的复兴之