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高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压,精度0.1%,其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。
高性能单晶硅谐振压力传感器
【摘 要】
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高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压,精度0.1%,其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。
【出 处】
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技术与市场
【发表日期】
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2009年03期
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