【摘 要】
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展示真实的工艺结论，介绍在基片本身或监控片上进行光学直接监控的方法应用于大面积（最大基片盘直径牵1400mm）镀膜的成功经验。直接监控技术可以最快速的再现高难度的设计要求，保
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展示真实的工艺结论，介绍在基片本身或监控片上进行光学直接监控的方法应用于大面积（最大基片盘直径牵1400mm）镀膜的成功经验。直接监控技术可以最快速的再现高难度的设计要求，保证大面积，高精度镀膜设备上的高成品率。中列举的各类多层膜的实验结果清楚地证明了这种强大的监控手段的应用潜力。可使用直接监控方式镀膜的膜系包括截至滤光片，偏振膜，分光膜以及多腔带通滤光片。所有这些膜系都是在PIAD（等离子辅助沉积）和PARMS（等离子体辅助反应磁控溅射）的方式下完成的。实验的重复性和均匀性体现了直接监控的优势。在塑料基
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