离子氮化装置中的双层辉光放电现象及其放电特性的研究

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本文在离子氮化装置及离子氮化工艺试验研究的基础上,根据气体放电理论,提出并讨论了双层辉光放电现象。我们采用两种实验装置对该现象的主要放电参数进行了实验测定,基本上弄清了双层辉光放电现象的放电特性。对双层辉光放电中的某些现象,进行了一些初步探讨。 Based on the experimental research on ion nitriding apparatus and ion nitriding process, this paper presents and discusses the double glow discharge phenomenon according to gas discharge theory. We used two experimental devices for the phenomenon of the main discharge parameters of the experimental determination, basically clarify the double glow discharge phenomenon. Some of the double glow discharge in some phenomena, some preliminary discussions.
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