【摘 要】
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随着半导体激光器、发光二极管和光探测器等半导体光电器件的高性能化和高可靠性化,在这个领域内,对以实现更高速、多功能器件为目的的单片集成回路的研究工作也逐渐活跃起
【机 构】
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日本电气光电子学研充所,日本电气光电子学研充所
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随着半导体激光器、发光二极管和光探测器等半导体光电器件的高性能化和高可靠性化,在这个领域内,对以实现更高速、多功能器件为目的的单片集成回路的研究工作也逐渐活跃起来。这里介绍的PIN—FET就是将PIN光电二极管(PIN PD)和MIS结构的FET放大器在半绝缘衬底上单片化的器件,是一种旨在用于目前正在成为光纤通
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