GlobalScan-I激光扫描显微镜系统用于设计边缘和失效定位

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:frigate999
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介绍集成器件制造商试图清晰的区别制造问题和设计错误。物理错误-阻性过孔、金属层间短路等等问题通常属于制造问题。非物理错误-时序问题、逻辑错误等等问题通常是设计队伍的问题。之所以要清晰的定义这两类责任是因为业界将工作分为制造和设计。随着晶体管物理尺寸不断缩小 INTRODUCING INTEGRATED DEVICE MANUFACTURERS Try to clearly distinguish manufacturing problems from design errors. Physical errors - problems such as resistive vias, metal-to-metal shorts, etc., are often manufacturing problems. Non-physical errors - problems with timing, logic errors, etc. are often problems with the design team. The reason for defining these two types of responsibilities clearly is that the industry divides its work into manufacturing and design. As the transistor physical size continues to shrink
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