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介绍一种100W薄膜功率负载的设计与制作技术,设计指标为输入阻抗50Ω、频率0-6GHz、驻波≤1.3、最高表面温升≤75℃。该器件采用薄膜工艺生产。测试结果表明,它的最大功率可达250W,频率达到40GHz,并能在最高达250℃下可靠工作。功率负载已经被广泛应用于雷达,卫星通讯,电子对抗等军用领域和移动电话和商用基站等民用领域。