【摘 要】
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针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯（parylene C）作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制
【机 构】
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上海交通大学生命科学技术学院,上海交通大学微纳科学技术研究院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海大学理学院纳微能源研究所
【基金项目】
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基金项目：国家973重点基础研究发展规划资助项目（No.2005CB724305,2005CB724302）,中国博士后科学基金资助项目（No.20070410724）,上海市科委国际合作专项资助项目（No.8160706000）,上海市科委纳米专项资助项目（No.0852nm017000）
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针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯（parylene C）作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道（按6×6矩阵排列）的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm（圆形）和150μm×150μm（方形）,电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极
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