【摘 要】
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我院于1983年调入J5960A型离子注入机一台,原设备价约12万元.在用了少量投资并经电气、机械修复后对该机技术指标测定表明,该机已达到或接近技术说明中规定的技术指标,可在半
【机 构】
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西北电讯工程学院,西北电讯工程学院,西北电讯工程学院
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我院于1983年调入J5960A型离子注入机一台,原设备价约12万元.在用了少量投资并经电气、机械修复后对该机技术指标测定表明,该机已达到或接近技术说明中规定的技术指标,可在半导体教学和科研中应用.现将采用的方法总结如下,供修复真空设备时参考.
Our hospital was transferred to J5960A type ion implanter in 1983, the original equipment price of about 120,000 yuan.With a small amount of investment and electrical, mechanical repair of the aircraft after the technical indicators showed that the aircraft has reached or approached the technology The technical specifications specified in the instructions can be applied in the teaching and research of semiconductors. The methods used now are summarized as follows for reference when repairing vacuum equipment.
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