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期刊论文
CVDBN陶瓷与金属接合机理研究
CVDBN陶瓷与金属接合机理研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanshuyao
【摘 要】
:
利用SEM/EDX、XPS及X射线粉末衍射手段,对CVDBN陶瓷与金属(无氧铜、钛)的接全机进行了分析,并用反应自由焓函数法对CVDBN陶瓷与金属的界面反应作了热力学计算。结论认为CVDBN陶瓷对无氧铜、钛的气密接合主要
【作 者】
:
鲁燕萍
胡美华
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
化学气相沉积
氮化硼陶瓷
接合机理
金属
Chemical vapor deposition
BN ceramic
X-ray powder diffracti
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利用SEM/EDX、XPS及X射线粉末衍射手段,对CVDBN陶瓷与金属(无氧铜、钛)的接全机进行了分析,并用反应自由焓函数法对CVDBN陶瓷与金属的界面反应作了热力学计算。结论认为CVDBN陶瓷对无氧铜、钛的气密接合主要依靠活性焊料与CVDBN陶瓷表面层间的相互扩散及反应。
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