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在试验的基础上提出了测量ＴｉＮ涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式，作为实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的ＴｉＮ涂层界面结合强度的影响，将测量结果与其它测量方法所得结果进行比较，证明提出的方法切实可行。
磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试
【摘 要】
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在试验的基础上提出了测量ＴｉＮ涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式，作为实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的ＴｉＮ涂层界面结合强度的影响，将测量结果与其它测
【机 构】
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上海大学材料学院,武汉材料保护研究所
【出 处】
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摩擦学学报
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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机械工业基金资助项目! ( 95JA0 50 2 ),,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室资助项目! ( 970 8)
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